磁盘空间不足。 磁盘空间不足。 测量钛钼丝和锆钛丝的蒸发参数:实验结果
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测量钛钼丝和锆钛丝的蒸发参数:实验结果

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-02-21 21:41:09 * 浏览: 2
在实验中,该系统未烘烤,进气表面被水(12°C)或液氮冷却。当水冷却时,冷阱不添加液氮。钛升华后,系统压力小于5.33倍,10 ^ -6Pa。例如,当液氮冷却进气表面时,压力进入10 ^ -7Pao。 ①在900℃下对新丝进行脱气时,用四极质谱仪分析脱气成分。从表16-14(扣除了背景成分)可以看出,主要成分是Hz,甲烷和CO。钛锆丝的氢气输出量比钛钼丝大(可能与生产工艺有关) 。在900°C下进行40分钟的脱气几乎完成。 ②吸附能力是在灯丝完全脱气后关闭扩散泵阀,然后蒸发恒定电压5分钟(膜厚约28nm),用恒定电流填充被测气体,并记录变化。随时间推移测量盖中的压力。 (图16-45)计算吸附容量(表16-15)。实验期间的初始压力为1Pa〜6.6倍,10 ^ -5Pa(液氮冷却),水冷却为1Pa〜6.6倍,10 ^ -4Pa。 ③附着系数是在以下条件下,在12°C和78K下,N2和H2在以下四个条件下的附着系数:开启和关闭扩散泵,长丝连续蒸发和间歇蒸发。在打开阀门时,将钛丝完全脱气并降低扩散泵的抽速后,这四种情况下的初始附着系数相差不大。因此,平均值类似于外部数据。在测量中,N2和H2的泵浦速度大于泵浦端口的电导,这可能是光束效应的影响。